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真空度相对来说比较稳定,但是也会受到一些因素的影响,比如---压,但是安装真空泵过滤器是不会对真空度产生影响。
关键对镀膜加工工艺的危害,不管哪些镀膜方法,真空度越高亦意味着炉内含有的杂气分子越少,那样镀膜膜层成份就更趋于你要想的占比,简易的说便是纯净度及结晶体情况更具精密性。
另外,针对镀膜而言,都有加温这一基本步骤,较高的真空度能够避免板材表层空气氧化或渗氮,对结合性有非常大的协助。
真空镀膜工艺对真空泵的要求较高,同时,对真空泵过滤器也具有较高要求,因此推动真空泵过滤器的发展进步。
电子束蒸发源蒸镀法
将蒸发材料放入水坩锅中,直接利用电子束加热,使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面成膜,是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点,真空镀膜厂家,---适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
依靠电子束轰击蒸发的真空蒸镀技术,根据电子束蒸发源的形式不同,又可分为环形,直,e型和空心阴极电子等几种。
环形是由环形的阴极来发射电子束,经---和偏转后打在坩锅内使金属材料蒸发。它的结构较简单,但是功率和效率都不高,基本上只是一种实验室用的设备,目前在生产型的装置中已经不再使用。
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。另外,有的真空泵不能在---压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmhg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度,选用的真空泵的---真空度至少要2mmhg,1好能达到1mmhg。通常选择泵的---真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
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