净化材料厂家

真空热蒸发镀膜工艺

oled器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的关系到器件和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有mg/ag、mg:ag/ag、li/al、 lif /al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ito玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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手套箱操作过程中的注意事项

1、手套箱系统工作中真空泵应保持开启状态。

2、当箱内氧气浓度超出200ppm时，应通知设备维修人员进行系统操作，否则会破坏水、氧净化系统。

3、在手套箱启动循环前做检查，是否在进行箱体情况或再生。如以上提及的操作正在进行，肯定禁止进行循环。

4、两个净化柱不可以同时再生。

a、再生前先---手套箱内已被惰性气体清洗干净(h2o<200ppm)---足够的再生气体供应。再生气体压力为0.06-0.08mpa。

b、手套箱启动再生之前，请先确认相应的净化柱循环已关闭。

c、手套箱再生过程需要24小时，一旦执行不能被断开，再生开始后3-6小时通再生气体注意再生气的用量，适当调整再生气体的压力，---再生气在这3小时的充足供应，第6小时后可以关闭再生来源。

d、手套箱再生进程中真空泵不可以关闭，不要触摸净化柱的顶部，以防烫坏。

e、再生一旦意外终止，请---12小时内不能重新启动该净化柱的再生和循环否则将损坏设备。

5、手套箱作业中应注意保护作业手套不要被损坏。

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