高纯氮气纯化装置以深冷法制氮、psa变压吸附制氮，氮膜分离制氮的普通氮气为原料，经过加氢催化除氧，冷凝、吸附二级干燥，过滤，除去氮气中的杂质氧、---、水份和尘埃，获得高纯度的氮气。用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时，我们可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1%时，则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮，若原料氮的氧含量小于0.1％，则采用化学除氧工艺方法。

大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸1英寸=25.4毫米 ---规模集成电路厂气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等，100mw以上的太阳能电池生产线气体种类包括nh3，发光二极管的磊晶工序线气体种类包括nh3、5代以上液晶显示器工厂气体种类包括4、3、nf3、光纤气体种类包括sicl4、硅材料外延生产线气体种类包括hcl等行业。它们的投资规模---，采用1的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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